摘要：针对超声换能器设计上存在的双共振峰或多共振峰等常见问题,提出了一种基于频率灵敏度方法的换能器结构优化设计方法。以芯片键合超声换能器为例,采用模态频率灵敏度的方法,通过最小量地修正变幅杆的直径,实现轴向工作频率与其他非工作频率的分离,有效地抑制了工作频率附近杂散的非工作模态对自身模态的干扰,确保在工作状态下换能器被驱动在单一的工作频率,从而提高了超声能量输出的稳定性。

关键词：频率灵敏度 结构优化 超声键合 换能器 

单位：哈尔滨工业大学深圳研究生院; 深圳518055; 中南大学; 长沙410083; 东莞华中科技大学制造工程研究院; 东莞523808