摘要：采用聚偏氟乙烯（PVDF）压电薄膜和压电陶瓷（PZT），并结合由电化学研磨得到的钨探针，研制了一种具有对称结构的新型轻敲模式扫描测头。在该测头中，PVDF压电薄膜作为振动梁，其下方中间位置固定有钨探针，在PZT的驱动下，PVDF和探针处于谐振振动状态，同时，PVDF作为微力传感器检测探针顶端原子与试样表面原子间的作用力。所构建测头结合三维纳米定位台、控制程序等构成了新型扫描探针显微镜系统。介绍了测头的构成、工作原理、特性以及SPM系统的整体结构、测量原理、三雏工作台的定位控制、信号处理过程和整系统特性测试，并以一维标准光栅为试样进行三维图像扫描，证明了该新型扫描探针显微镜系统的可行性和有效性。

关键词：pvdf振动梁 钨探针 定位控制 扫描探针显微镜 

单位：合肥工业大学; 合肥230009