摘要：根据微弱光谱信号的快速检测原理，构建了一种适用于阿达玛变换光谱仪的MOEMS（微光机电系统）可动光栅光开关阵列。对一种适用于补偿光栅光调制器件加工误差的阿达玛变换算法进行了分析，设计了以Al膜为主的表面微加工工艺流程，制作出MOEMS可动光栅光开关阵列。实验测试结果表明，可动光栅光开关阵列可以在低至8．1V的电压下进行光调制，开关频率达到140Hz，完全可以满足阿达玛变换光谱仪调制速度快、光谱范围宽、机械磨损小和误差小等要求。

关键词：阿达玛变换光谱仪 微光机电系统 可动光栅光开关阵列 误差补偿算法 

单位：重庆电子工程职业学院; 重庆401331; 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室; 重庆400044