摘要：微夹持器作为末端执行装置，直接决定了微装配的效率。MEMS机构中包含许多微小的活动部件和功能元件，为实现这些微小器件的稳定夹取和自动装配，设计了一种采用压电陶瓷驱动、基于柔性铰链的二级放大微夹持器结构。对该微夹持器的节点应力、刚度及最大张合量等进行了分析计算，并对微夹持器进行了试制。实验与分析结果表明，该夹持器最大张合量是245um，放大倍数约为12．3倍，满足MEMS机构的装配要求。在此基础上，重点对张合量与夹持力进行了系统测试，通过对测试数据的非线性回归，推导出99．99％可靠度的驱动电压计算公式，实现了微夹持的精确控制。

关键词：微机电系统 微装配 微夹持器 压电陶瓷 柔性铰链 

单位：沈阳理工大学辽宁省先进制造与装备重点实验室; 沈阳110159; 中国空空导弹研究院; 洛阳471009