摘要：提出了基于超声复合场驱动微粒悬浮输运方法。首先从超声相控阵列的延时聚焦原理出发,建立了空间任意点聚焦模型和作用力公式,然后利用超声驻波场辐射力计算方法,建立了微粒在超声复合场下的运动控制模型和驱动力公式。通过MATLAB模拟复合声场,分析了影响聚焦性能和控制性能的因素,给出了初步实验验证结果。最后提出了任意控制微粒运动的超声复合场驱动方案。

关键词：内加工 超声悬浮 复合场 微粒输运 

单位：杭州电子科技大学; 杭州310018