摘要：为解决叠堆式压电陶瓷输出位移微小的问题,结合液压放大的优点,提出了一种基于膜式液压放大的压电驱动器,并对关键部件——橡胶膜片进行有限元静力学、模态等分析。分析结果表明：橡胶膜片具有足够的安全强度和良好的工作频宽。在此基础上,研制其实物样机,搭建其测控平台,并进行了试验研究。开环试验结果表明：在0~100V电压控制下,所研制的压电驱动器输出位移范围为0~0.24mm,放大比约为5;闭环控制试验结果表明：采用分段PID的驱动器控制效果优于采用常规PID的控制效果,稳态误差约为±0.5μm。

关键词：液压放大 压电驱动器 分段pid 有限元 

单位：南京工程学院自动化学院; 南京211167; 南京工程学院机械工程学院; 南京211167