摘要：通过分析ELID磨削和CMP抛光两种加工技术的原理和特点,充分结合两种技术的优点,对蓝宝石基片进行超光滑纳米级精度的组合加工。从理论上分析和计算了蓝宝石的临界切削深度,以及在不同粒度砂轮下的脆性和延性磨削方式;采用不同粒度的砂轮对蓝宝石基片进行超精密ELID磨削实验,快速地获得高质量的加工表面,同时采用磁流变斑点法对加工面的亚表面损伤进行测量;利用CMP抛光技术对磨削加工后的表面进行光整,以减少磨削时产生的加工缺陷,使工件的表面质量得到进一步改善与提高,最终获得亚纳米级的表面粗糙度。

关键词：蓝宝石基片 在线电解修整磨削 化学机械抛光 组合加工技术 

单位：湘潭大学机械工程学院; 湘潭411105; 复杂轨迹加工工艺及装备教育部工程研究中心; 湘潭411105; 湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心; 长沙410082