摘要：为了得到更好的蚀刻效果，有必要研究蚀刻液的稳定性，因而研究方法显得尤为重要。研究了3组各成分含量不同的蚀刻液的稳定性，通过原子发射光谱法测得蚀刻液中Ni^2＋浓度，并间接计算出腐蚀量，对比考察了根据蚀刻速率-腐蚀量的关系和蚀刻速率-时间的关系研究蚀刻液稳定性这2种方法。实验结果证明：根据蚀刻速率-腐蚀量的关系研究蚀刻液的稳定性具有可行性，且更具优越性；同时，3种蚀刻液中，1842稳定性最好，且该蚀刻液的最大金属腐蚀量为3g／L。

关键词：化学蚀刻 蚀刻液 稳定性 

单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所 邯郸056027