摘要：考虑工艺随机扰动对互连线传输性能的影响,建立了互连线随机扰动模型,提出了一种基于谱域随机方法的互连线串扰分析新方法.该方法将具有随机扰动的耦合互连线模型在线元分析阶段进行解耦,分别采用随机伽辽金方法（SGM）和随机点匹配方法（SCM）进行串扰分析.最后,利用复逼近给出工艺随机扰动下互连线串扰噪声的解析表达式.实验结果表明本文方法不仅可以对工艺随机扰动下的非均匀耦合互连线串扰进行有效估计,相较于SPICE仿真还具有更高的计算效率.

关键词：工艺随机扰动 谱域随机方法 随机伽辽金方法 随机点匹配方法 串扰噪声 

单位：南京理工大学计算机科学与技术学院; 江苏南京210094; 亚利桑那大学电子工程系; 美国亚利桑那州AZ8742; 中国科学院计算技术研究所; 北京100080