摘要：为了深入地理解大气压等离子体射流放电机理和优化其放电效率，通过对大气压氩等离子体射流的电压电流波形和Lissajous图形等电气特性的测量及发射光谱和发光图像等光学特性诊断，研究了外电极距石英玻璃管口不同距离时，氩等离子体射流放电的放电特性和演变规律。计算放电功率、传输电荷量、电子激发温度、分子振动温度和分子转动温度等主要放电参量后，研究了它们随外加电压增加的变化趋势，并结合放电机理对所得实验结果进行了分析。结果表明，氩等离子体射流主要产生的粒子有OH、Nz、Ar和少量的O，随着外电极位置的不同，气体温度在317-395K之间变化，为典型的低温等离子体；外电极位置影响放电模式和放电起始电压，在氩射流阶段，电子激发温度在不同外电极位置条件下相差不大。当外电极距离管口40mm时，外加电压幅值达8kV时，放电功率和传输电荷最大，放电效果和发光强度也最强，由Penning效应产生的OH谱线强度也最强，因此，用于聚合物材料表面改性等应用时，可以采用此运行参数，以达到更好处理效果。

关键词：低温等离子体射流 大气压 放电特性 放电参量 演变规律 

单位：南京工业大学自动化与电气工程学院 南京210009 西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室 西安710049