摘要：为促进大气压Ar／H2O等离子体射流放电在材料表面改性、等离子体医学及环境工程等方面的应用，研究了大气压Ar／H2O等离子体射流放电模式和放电参量。测量了这种射流在不同外加电压下的电气特性、发光特性及光谱特性，并据此计算得到主要放电参量，如放电功率、传输电荷、电子激发温度、分子振动温度以及转动温度等随外加电压的变化规律。结果表明：随着外加电压的增大，大气压Ar／H2O等离子体射流放电模式可分为电晕放电、介质阻挡放电和射流放电3个阶段，并可通过电压电流波形图和发光图像进行区分。Ar／H2O等离子体射流产生的粒子主要有Ar、OH以及少量的O和N2等。随着外加电压的增大，放电功率、传输电荷及主要粒子（包括OH）的谱线强度都随着外加电压的增大而增大。当外加电压从7kV增加到9．5kV时，分子振动温度和转动温度随着外加电压的增大而增大，其变化范围分别为1000－2200K和350-550K。当外加电压为9．5kV时，电子激发温度为0．646eV。

关键词：低温等离子体 大气压 等离子体射流 变化规律 放电特性 

单位：南京工业大学自动化与电气工程学院 南京210009 四川大学高分子材料工程国家重点实验室 成都610065