摘要：大气压射频微等离子体放电具有较大的潜在应用价值,但实验研究较困难.为此借助于粒子模拟的方法,在给定的放电间隙下,研究了电流密度及二次电子发射系数（SEEC）对射频微等离子体的放电结构的影响.模拟结果表明,随着输入电流密度的增大,放电空间逐渐由鞘层主导的结构转变为辉光放电结构,电子密度也会随之增大,鞘层电场逐渐增强,同时电子能量概率函数（EEPF）曲线会随之整体向上偏移;而在给定的电流密度下,随着SEEC的增大,放电结构也会逐渐由鞘层主导的结构转变为辉光放电的结构,电子密度会随之增大,同时鞘层电场会逐渐变小,高能电子（＞20 eV）比例也随之减小.最后分析了在大间隙下出现鞘层主导结构的可能性.

关键词：大气压气体放电 射频微等离子体 放电结构 粒子模拟 二次电子 

单位：山东大学电气工程学院山东省特高压输变电技术与气体放电重点实验室 济南250061