摘要：大气压射频放电是人们比较关注的气体放电形式,在合适的放电条件下,其产生的低温非平衡等离子体中可以产生大量的活性粒子,如何优化与调控这些活性粒子的产生与分布是实际应用中,特别是与环境相关的应用中人们非常关心的问题。因此数值求解了描述大气压射频等离子体的流体模型,研究了放电频率、放电间隙及脉冲调制对大气压射频等离子体中活性粒子的影响。计算结果表明,在相同的功率下,过高的放电频率（〉20 MHz）会抑制活性粒子的产生,而较小的放电间隙（〈1 mm,即在微等离子体范围内）则有助于提高活性粒子的数密度;通过选取合适的调制频率与占空比,借助于脉冲调制的方式在大气压射频放电中可以有效的调控活性粒子的产生,并降低功率消耗。研究结果可对大气压射频放电中活性粒子的应用提供一定的理论指导。

关键词：大气压气体放电 射频放电 非平衡等离子体 活性粒子 流体模拟 

单位：山东大学电气工程学院 济南250061 华中科技大学强电磁工程与新技术国家重点实验室 武汉430074