摘要：通过减小电极孔径到微米量级来实现高气压甚至大气压放电的现象已成为研究热点。笔者利用不锈钢空心针作为放电阴极，不锈钢网作阳极，进行了大气压微等离子体放电实验研究。实验测量了大气压微放电的伏安特性曲线。实验发现，大气压直流微放电存在不同的放电模式：空心阴极放电和反常辉光放电，随着电流的增加，放电越来越强烈。实验研究了放电电压随压强和气体流量的变化关系。结果显示，随着体系压强的增加，电离过程增多，放电电压逐渐降低。随着流量的增加，气体流动状态由层流状态逐渐过渡到紊流状态，引起放电电压先降低后增加。

关键词：微等离子体 伏安特性 大气压 

单位：重庆邮电大学光电工程学院 重庆400065