摘要：针对真空平面静压气浮轴承性能分析的二维问题,对带有均压槽的真空平面静压气浮轴承的供气量、气膜厚度和刚度进行了数值分析和实验研究,提出了一种适用于粘性流、过渡流和分子流的二维分析模型。首先,根据真空流导理论,推导出了气膜内气体在三种流动状态下各自的控制方程,建立了真空气浮轴承承载区域二维分析模型;其次,针对带有均压槽的真空气浮轴承,在不同供气压强条件下,对不同测点的压强值进行了试验研究,获得了气浮轴承的流量,并通过流量的对比验证了该模型的准确性;最后,采用数值模型,分析了实验过程中的气膜厚度和轴承的刚度。研究结果表明:当轴承承载力不变时,随着供气压强增大,轴承刚度呈现先增后减的特点。

关键词：真空气浮轴承 静压气浮轴承 二维模型 轴承刚度 

单位：中国水利水电科学研究院; 北京100038; 清华大学精密仪器与机械学系; 北京100084