摘要：本文分析了超导量子干涉器（SQUID）和超导-绝缘-超导（SIS）约瑟夫森结散粒噪声测试方法的应用局限性,提出了常规器件的散粒噪声测试方案.针对常规电子器件散粒噪声特性,研究了噪声测试基本条件,并建立了低温测试系统.通过采用双层屏蔽结构和超低噪声前置放大器,实现了较好的电磁干扰屏蔽和极低的背景噪声.在10K温度下对常规二极管散粒噪声进行了测试,通过理论和测试结果对比分析,验证了测试系统的准确和可信性.

关键词：散粒噪声 电子器件 噪声测试 

单位：西安电子科技大学技术物理学院 西安710071 西安电子科技大学微电子学院 西安710071