摘要：在直线电机进给系统中,运动质量的波动是最主要的模型参数波动。基于将干扰观测器和零相位跟踪控制器与PID相结合的控制器结构,分析了质量波动对位置闭环带宽的影响,通过分析可知质量增大会降低位置带宽,破坏位置闭环的零相位误差特性,降低位置跟踪性能。为了补偿质量波动的影响,提出一种基于质量估计和模型补偿的控制器结构。质量估计采用模型参考自适应方法,能够准确及时地估计出质量,稳定后误差不超过3.5%。模型补偿包括质量波动补偿和电流前馈,可使实际模型与设定模型保持一致,补偿了质量波动对位置闭环带宽的影响,保持了控制器的跟踪性能。实验结果验证了该方法的有效性。

关键词：质量估计 模型波动 模型补偿 干扰观测器 零相位跟踪控制器 

单位：清华大学精密仪器与机械学系 北京市海淀区100084