摘要：为了研究移动脉冲激光刻蚀单／双层金属／聚酰亚胺基复合材料的规律，利用有限元方法建立了移动纳秒脉冲激光刻蚀的通用模型，讨论了移动速度对激光刻蚀深度的影响，分析了金属铝薄膜和双层金属膜在移动脉冲激光作用下的温度变化规律。结果表明，当激光移动速率一定时，刻蚀深度开始时不断增加，但增加幅度逐渐减小，刻蚀深度逐渐趋于一定值，即达到最大刻蚀深度；金属与基底材料界面处的温度变化相较于金属薄膜靠近光源处的在时间上有一定滞后，基底温度在激光关闭后可继续上升；刻蚀双层金属膜时，下层选用较厚且热导率较大的金属薄膜有利于保护聚酰亚胺基底。

关键词：激光技术 脉冲激光 移动速度 铝薄膜 聚酰亚胺 

单位：兰州理工大学材料科学与工程学院; 甘肃兰州730050; 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室; 甘肃兰州730000