摘要：对表面电机的原理和力学特性进行了研究,提出了提供定位精度的二级定位系统--粗糙定位和精密定位.粗糙定位使系统运行速度加快,精密定位使系统的定位精度提高.仿真结果表明,二级定位系统可以使电机提高速度和精度性能,同时系统的鲁棒性也得到提高.

关键词：表面电机 粗糙定位 精密定位 二级定位系统 

单位：西安交通大学机械工程学院; 西安; 710049