摘要：基于线性分析理论,建立了柔性铰链式平面三自由度精密定位平台的分析模型;提出了一种计算该类工作台输入耦合的线性求解方法,该方法具有求解简便和计算量小等优点;针对微动工作平台的特点建立了有限元分析模型,通过有限元仿真,验证了线性法的正确性;讨论了有关参数对工作台输入耦合的影响程度,给出了对输入耦合有较大影响的设计参数.研究结果对设计低耦合输入微动工作平台具有指导意义.

关键词：柔性铰链 微动工作台 输入耦合 有限元 

单位：汕头大学; 汕头; 515063; 华南理工大学; 广州; 510641