摘要：对微机械陀螺中静电、结构、空气阻尼等物理域进行有效分离，在分别对各域进行数值模拟的基础上提取相应的物理参数，建立集总参数模型。在考虑边缘效应的情况下，提取了微结构电容与位移的解析表达式；根据热一流体类似方法，提取了阻尼孔结构的阻尼系数和压膜刚度；根据结构动力学理论，由模态分析提取结构的有效刚度和有效质量。将这些物理参数综合在系统仿真器中与电路共同进行仿真，准确地评估不同条件下微机械陀螺的行为特性。

关键词：微机电系统 集总参数宏模型 微机械陀螺 多域耦合分析 

单位：西北工业大学; 西安710072