摘要：介绍了基于离子聚合物金属复合结构（IPMC）的柔性致动器的制备方法和关键技术，分析了致动机理。针对所构造的致动器样本，初步研究了其机电特性。研究结果表明，该制动器具有结构简单、驱动电压低、相对变形量大、重量轻等优点，在泳动仿生微机器人推进和生物医学应用方面具有较大的潜力。

关键词：致动器 电极 mems 

单位：上海大学; 上海200072; 绍兴文理学院; 绍兴312000