首页 > 期刊 > 中国机械工程 > 基于UV—LIGA技术制造微结构器件试验研究 【正文】
摘要:试验研究了UV-LIGA各工艺环节(包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等)对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响,并组合优化了操作条件和工艺参数。试验结果表明:采用优化后的UV—LIGA工艺条件,制造出的金属微结构器件(如微齿轮、微流道)轮廓清晰,表面质量好,无明显缺陷,与基底结合良好。
关键词:微结构器件 光刻 微细电铸
单位:南京航空航天大学; 南京210016; 河南理工大学; 焦作454000
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