摘要：提出一种用于检测微位移的新型电涡流传感器。该传感器中，两层微平面线圈叠加在坡莫合金铁芯上，分别作为驱动元件与敏感元件。详细给出了微平面线圈的SU-8胶UV—LIGA工艺与磁性铁芯的电铸成形工艺。当激励电流为50kHz的正弦交流信号，而且检测Ni-Fe片与铁芯间隙为10μm时，敏感线圈的输出电压达30mV，并且间隙值在50μm范围内与输出电压接近为线性关系。传感器尺寸为φ5mm×1．6mm，易于集成，能实现对微位移的检测。

关键词：微平面线圈 电涡流 电铸镍铁合金 

单位：南京航空航天大学; 南京210016; 淮阴工学院; 淮安223003