摘要：提出了一种基于结构组件库的MEMS概念设计方法。给出了结构组件的表征形式，探讨了基于功能分解的结构组件模型获取方法，借以形成支持概念设计的结构组件模型库。阐明了MEMS概念设计时如何通过行为匹配自动检索出相关组件及其行为链组合、通过对行为链组合进行功能结构细化获得备选的器件方案。结合航空及空气动力学领域急需的MEMS微型剪应力传感器实例对该概念设计方法进行了阐述。研究表明，该方法对于提高MEMS概念设计效率及方案创新能力、促进MEMS概念设计工具化有积极作用。

关键词：mems概念设计 结构组件 功能分解 行为匹配 剪应力传感器 

单位：西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室 西安710072