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工艺参数对离子束辅助沉积TiN薄膜性能的影响

李国明 孙世尧 陈学群 表面技术 2008年第06期

摘要:为进一步提高牙科材料的生物相客性、耐磨性和耐腐蚀性能,将离子束辅助沉积制备TiN纳米薄膜技术引入到铁铬钼牙科材料的研究中,在Fe—Cr—Mo合金基体上制备了TiN薄膜。测定了表面膜层的显微硬度,在模拟口腔环境的溶液中,采用电化学方法,对经不同工艺参数沉积TiN薄膜的牙科用Fe—Cr—Mo合金的耐蚀性进行测试,并以未进行表面镀膜的Fe—Cr—Mo合金为对照。结果表明:经TiN镀膜处理的Fe—cr—Mo软磁合金硬度明显增加,在口腔环境中的耐腐蚀性较未经表面镀膜处理的有明显提高:工艺参数不同,硬度增加的程度不同,耐蚀性差别也较大,当氮气流量为1.5mL/min,溅射时间为4h时,得到的膜厚为2μm,此时TiN膜硬度最高,在口腔溶液中耐腐蚀性最好。

关键词:铁铬钼软磁合金离子束辅助沉积显微硬度耐蚀性tin薄膜

单位:海军工程大学理学院化学与材料系 湖北武汉430033 中国人民解放军第161医院 湖北武汉430033

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