摘要：采用双层辉光等离子渗金属技术，在碳钢表面进行反应合成TiN层，研究了各种工艺参数对合成TiN层相结构的影响。结果表明：当TiN层较薄时，表面能起控制作用，TiN层的生长显示出（100）取向生长趋势，使TiN层系统自由能较低；而当TiN层较厚时，应变能占主导因素，对TiN层生长起主要控制作用，使TiN层呈现出{111}择优取向，有利于TiN层系统自由能的降低。即TiN层随厚度增加，{111}择优取向生长越明显。

关键词：双层辉光 择优取向 tin薄膜 相结构 

单位：桂林电子科技大学 桂林541004