摘要：目的研究人工心瓣含硅热解炭涂层的残余应力。方法通过化学气相沉积法制备含硅热解炭涂层．并对涂层进行物相与结构分析。利用x射线衍射法测定涂层表面SiC相残余应力，采用有限元法模拟含硅热解炭涂层表面残余应力情况。结果试样只包含热解炭与SiC两种物相，SiC颗粒尺寸小于10μm，分散在热解炭基质中。x射线衍射法测得两个试样SiC相残余应力值分别为-7，-9MPa，有限元分析得出颗粒内残余应力约-6MPa。结论SiC相残余应力为压应力，有限元分析结果与实验值有较好的吻合。颗粒的尺寸对材料残余应力的影响并不明显。

关键词：人工心瓣 热解炭 sic 残余应力 x射线衍射 

单位：杭州电子科技大学机械工程学院 杭州310018