摘要：误差修正技术是提高测量设备精度的常用方法,但有时由于设备的误差源太多或误差不易测出,而使得误差修正不完全或无能为力。本文提出一种综合误差修正方法,其基本思想是撇开装置中每项具体误差源所引起的测量误差,而把整个测量装置看成是一个大的误差源,采用一种等价置换的方法测出这个大误差源引起的测量误差,然后在测量结果中修正。将该方法用于实验室高精度热变形测量装置中,结果表明该方法可有效提高测量装置精度和测量数据的可靠性。

关键词：误差修正 误差源 测量设备 热变形 精度 

单位：安徽大学电子科学与技术学院 合肥230039 浙江大学宁波理工学院 宁波315100 合肥工业大学光电工程学院 合肥230039