线上期刊服务咨询,发表咨询:400-808-1701 订阅咨询:400-808-1721

探究吸附装置安装位置对多晶硅除硼磷的影响

贺玉刚; 王芳; 孙强; 张晓伟; 时庆合; 付强 无机盐工业 2020年第03期

摘要:多晶硅生产中最难去除的杂质是硼、磷。为提高吸附装置对硼、磷杂质的吸附效果,降低多晶硅原料氯硅烷中的杂质含量,提升多晶硅的品质,对吸附装置在提纯系统中安装位置的合理性进行了分析研究。对提纯系统中部分物料输送管道进行改造,使不同组分的物料进入相同结构的吸附装置进行吸附。调试吸附装置处于最佳工作状态后,对吸附后物料中硼、磷杂质含量的总和、吸附率以及吸附装置反冲洗频率进行对比分析。实验结果表明,当吸附装置安装在回收塔产品进入精馏塔的中间管道处时,吸附装置对硼、磷杂质的吸附效果最佳,且系统运行稳定。吸附装置在提纯系统中最佳安装位置的确定,提高了吸附装置对硼、磷杂质的吸附效果以及系统运行的稳定性,为多晶硅品质的提升奠定了基础。

关键词:多晶硅氯硅烷吸附稳定性

单位:洛阳中硅高科技有限公司; 河南洛阳471023

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

无机盐工业

北大期刊

¥344.00

关注 30人评论|0人关注