摘要：基于视觉反馈的微装配自动调焦系统由可调焦光学显微镜、CCD、图像采集卡、步进电机和齿轮减速传动机构等组成。它采用粗精组合式调焦算法，即使用Variance调焦函数结合优化爬山法进行粗调来确定聚焦目标区域，并应用梯度平方函数进行精调；最后用最小二乘法拟合得到焦平面位置。实验证明，该自动调焦方法具有响应速度快、精度高等特性，满足了微装配调焦对精度的要求。

关键词：微装配 微机器人 视觉反馈 自动调焦 清晰度评价函数 

单位：上海交通大学微纳科学技术研究院 上海200030