摘要：基于2振动自由度的静电梳驱动折叠梁微机械滤波器振动模型,利用结构鲁棒设计思想,在指定耦合梁宽度等于振子折叠梁宽度的前提下,推导出了两个固有频率对微梁宽度工艺误差的灵敏度模型,得到了对工艺误差不敏感的梳状振子应满足的几何条件,将现有参考文献中仅适用于单个振动自由度微谐振器的结论推广到了多振动自由度微机械滤波系统.并以正方形作为振子基本形状,推导出了折叠梁宽度与补偿孔壁厚、补偿孔数量的重要关系.最后,给出了设计实例.所提出的方法对于其他类型的多自由度微机械振动系统设计也有重要的参考意义.

关键词：mems 机械振动 微机械滤波器 鲁棒设计 

单位：东南大学机械工程系; 南京; 210096; 南京邮电学院信息工程系; 南京; 210003