摘要：采用螺旋波等离子体辅助溅射技术制备了自然掺杂及N—Al共掺杂ZnO薄膜，对两种不同类型掺杂薄膜的低温光致发光（PL）特性进行了研究。实验结果表明，二者均呈现出了较强的与受主能级相关的发光特征，自然掺杂薄膜的光致发光谱在404．0nm处出现了由于锌空位产生的近带边发光，N—Al共掺杂薄膜的光致发光谱在383．0nm处出现了N作为受主的施主-受主对（DAP）跃迁发光。两种薄膜的发光特性比较分析表明，N—Al共掺杂技术能够有效提高N的固溶度，N受主能级密度增加使薄膜表现出较强的施主-受主对跃迁发光，表明该技术为实现P型ZnO薄膜制备的有效方法。

关键词：薄膜 p型zno发光特征 光致发光 掺杂技术 

单位：河北大学物理科学与技术学院; 河北保定071002; 衡水学院物理系; 河北衡水053000