摘要：研制了一种基于介质上电润湿（electrowetting—on—dielectric，EWOD）的新型低驱动电压电子纸反射式显示单元器件,本文分析了器件的工作原理以及性能影响因素，并提出用优化的氮化硅与碳氟聚合物复合介质层来改善器件的驱动电压,实验证实，器件在15V低电压驱动下成功实现了“开启”、“关闭”功能，其“开启”、“关闭”响应时间小于1／30s。

关键词：反射式显示 介质上电润湿 微流体 微电子机械系统 

单位：清华大学微电子学研究所; 北京100084