摘要：生化微传感集成系统是目前的研究焦点，本文以在线性区和饱和区两种模式下工作的pH-ISFET作为研究对象，提出ISFET微传感器与其信号读出电路的单芯片集成，并深入研究传感机理以及与标准CMOS兼容的敏感材料制备技术．整个芯片包含ISFET／REFET微传感差分对、双模式ISFET／REFET放大器、次级差分放大、参比电极Pt、恒流源等，采用新加坡Chartered半导体集成电路公司3．3V标准CMOS工艺流片．同时进行传感器芯片的pH响应实验测试，获得53mV／pH灵敏度．

关键词：微传感器 读取电路 单芯片 集成系统 

单位：中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 北京100080; 中国科学院研究生院; 北京100039