摘要：根据上海光源软X射线谱学显微光束线站高光谱分辨的要求,单色光出射狭缝设计采用柔性铰链式精密结构,利用柔性铰链的特性优点,可以实现狭缝开口仅为0～0.5 mm,而且可以精度很高地调节开口宽度。该设计实现了狭缝开口输出位移和输入驱动位移的比例关系。文中介绍了该狭缝结构的机械设计原理及所采用柔性铰链的设计方法,并通过有限元分析软件ANSYS对其进行建模分析,验证了其运动原理和机械强度的设计,确定狭缝能满足上海同步辐射装置的使用要求。

关键词：柔性铰链 单色光狭缝 有限元分析 

单位：中国科学院上海应用物理研究所 上海201800 中国科学院研究生院 北京100049