摘要：针对量子点场效应单光子探测器（QDFET）光吸收效率低下的问题，提出了一种新型量子点场效应增强型单光子探测器（QDFEE-SPD）. QDFEE-SPD增加了共振腔的设计，并采用了GaAs/AlAs多层膜作为下反射镜；对QDFEE-SPD的光吸收增强效应和光响应度进行了理论分析和模拟，结果表明，与没有共振腔时相比， QDFEE-SPD的吸收效率和光相应度都有了大幅度的提升，同时为了光吸收的最优化，吸收层厚度一般应在0.1-0.5μm；对QDFEE-SPD的材料样品进行了生长和测试实验，反射谱测试和PL谱测试结果表明， QDFEE-SPD对入射光的吸收具有了明显的增强效应.文章成果为高效率量子点场效应单光子探测技术的研究提供了新的思路.

关键词：共振腔 吸收效率 光吸收增强效应 

单位：军械工程学院 纳米技术与微系统实验室 石家庄050003 中国科学院半导体研究所 半导体超晶格国家重点实验室 北京100083