摘要：太赫兹（terahertz，THz）技术在高速空间通信、外差探测、生物医学、无损检测和国家安全等领域具有广阔的应用前景．能响应1GHz调制速率以上THz光的高速THz探测器是快速成像、THz高速空间通信、超快光谱学应用技术和THz外差探测等领域的核心器件．传统的THz热探测器难以实现高速工作，而基于半导体的THz探测器在理论上可实现高速工作．光导天线具有超快的响应速度，可实现常温和宽谱探测；肖特基势垒二极管混频器、超导一绝缘体一超导混频器和超导热电子混频器具有转换效率高、噪声低等优点，可用于高速THz空间外差和直接探测；基于高迁移率二维电子气的天线耦合场效应晶体管灵敏度高、阻抗低，可实现常温高速THz探测；THz量子阱探测器是一种基于子带间跃迁原理的单极器件，非常适合高频和高速探测应用，亚波长金属微腔耦合机理可显著提高器件的工作温度及光子吸收效率．本文对上述几种高速THz探测器进行了综述并分析了各种探测器的优缺点．

关键词：太赫兹 高速探测 混频器 量子阱探测器 

单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 中国科学院太赫兹固态技术重点实验室; 上海200050; 中国科学院大学; 北京100049