摘要：介绍了一种新型长波长InP基谐振腔增强型(RCE)光探测器。通过V(FeCl3)：V(H2O)溶液对InGaAs牺牲层的选择性湿法腐蚀，制备出具有InP／空气隙的高反射率分布布拉格反射镜(DBR)，并将该选择性湿法腐蚀技术成功地应用到长波长InP基谐振腔增强型光探测器的制备中去，从而彻底解决了InP／InGaAsP高反射率分布布拉格反射镜难以外延生长的问题。所制备出的谐振腔增强型光探测器，其台面面积为50μm×50μm，底部反射镜为1．5对的InP／空气隙分布布拉格反射镜，顶部反射镜靠InGaAsP与空气的界面反射来实现。测试结果表明，该谐振腔增强型光探测器在波长1.510μm处获得了约59％的峰值量子效率，在3V反偏压下暗电流为2nA，3dB响应带宽达到8GHz。

关键词：光电子学 谐振腔增强型光探测器 空气隙 选择性湿法腐蚀 

单位：北京邮电大学光通信中心; 北京100876