摘要：为解决谐振腔增强型（RCE）光探测器的耦合效率和响应速率的矛盾，提出了采用特殊图案透明欧姆接触的微结构及其制备工艺方案，从而使得在器件入光面积不变的情况下，欧姆接触部分的总面积显著减小，在不影响器件量子效率的前提下达到减小电容、提高响应速率的目的。在台面面积为50μm×50μm的情况下，获得了18GHz的响应带宽。研制的谐振腔增强型光探测器的响应速率得到了显著的提高。

关键词：光通信 高速 结电容 频率响应 谐振腔增强型光探测器 

单位：北京邮电大学光通信中心; 北京100876