摘要：目的 制备新型导电探针,解决目前探针针尖曲率半径较粗、饱磁力大、调频困难、不容易得到高分辨图像等问题。方法 向Si探针针尖蒸镀导电金属薄膜得到导电薄膜Si探针,镀Fe薄膜厚度约为几纳米,同时保证探针的曲率半径约10 nm。利用透射电镜观察和超高真空原子力显微镜扫描镀膜前后探针Na Cl（001）表面,分析其性能。结果 自制的Fe薄膜Si探针由于蒸镀了金属薄膜,探针针尖性能稳定,Si探针扫描效果的悬挂键影响被消除,同时提高了系统的扫描分辨率。结论 导电薄膜Si探针能够充分利用现有的仪器设备进行实验,具有造价低、使用简单、性能稳定等优点,可以作为将来磁交换力显微镜（MEx FM）的磁性探针来测试材料的表面磁信息。

关键词：导电薄膜 si探针 原子分辨率 磁交换力显微镜 

单位：中北大学电子测试技术重点实验室 太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 太原030051 中北大学仪器与电子学院 太原030051 大阪大学工学研究科精密科学应用物理学专攻 日本大阪565-0871