摘要：为了补偿激光器出射光束的漂移,提高激光发射系统的准直精度,设计了一个二维角度微调反射镜机构.该系统采用同基体双层结构,应用小曲率大圆弧面和小倾角平面相切运动实现角度微调,且具有手动/自动两种调节模式.新型二维微调机构除了能达到高精度、高稳定性角度调节之外,且安装方便,体积小,调节轻便,在有、无重力的条件下均能正常使用,既可用于光路的调节,也可用于航空航天、民用工业等其他要求高精度角度调节的领域.

关键词：微调镜 二维 圆弧面 高精度 

单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春130033 中国科学院研究生院 北京100039