摘要：介绍了一种采用柔性印刷电路板工艺制作的新型接近式电涡流传感器阵列及其测试系统，以实现大面积曲面间微小间隙的实时监测。基于时分多路的扫描测试方法，对传感器阵列的设计方法、加工工艺及基底材料进行研究，设计了分叉式结构的线圈阵列及细长扁平引线电缆的柔性传感器探头。对传统的调频式振荡电路进行改进，解决线圈品质因数小的问题，提高了传感器系统的测试性能。试验结果表明，在2mm的量程范围内，传感器系统的测量精度优于±0．5％，适用于曲面间隙的在线监测。

关键词：电涡流传感器 线圈阵列 柔性基底 接近式测量 时分多路 

单位：清华大学精密仪器与机械学系; 北京100084