摘要：对自行研制的一种新型压阻敏感器和电阻加热器一体集成的纳机电热探针阵列传感器进行了存储特性研究。首先对器件电热特性和敏感特性进行测试，测试结果与模拟结果相吻合。在此基础上，进行数据存储测试，借助原子力学显微镜在聚合物有机薄膜上实现了数据写入，并研究了脉冲电压、脉冲宽度及其施加于探针上的力载荷对存储效果的影响，优化写入条件后，数据记录面密度达31．6GB／in^2．

关键词：纳米针尖 集成探针阵列 存储特性 电阻加热器 

单位：福州大学电子科学与应用物理系; 福州350002; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室; 上海200050