摘要：提出一种新型压电驱动精密位移机构,着重介绍了其结构、工作原理和控制方法,分析了机构参数与输出性能之间的关系.该机构以压电叠堆为动力元件驱动流体,利用换向阀控制流体流向,通过执行缸两个腔体内流体置换的方法将压电叠堆的往复振动转换成执行缸的直线运动.调整电压或执行缸的参数可获得所需的进给步长和输出推力,具有精度高、易于控制、稳定性好等特点,适用于微位移以及较大行程范围内的精密进给运动.

关键词：精密位移机构 输出性能 压电 电压 驱动 

单位：吉林大学机械科学与工程学院; 博士生; 130025; 长春市; 吉林大学链传动研究所; 讲师; 吉林大学链传动研究所; 教授; 博士生导师