摘要：介绍了一种可用作光学反射镜材料的新型反应烧结碳化硅。采用超精密磨床结合在线电解修整的磨削方法对新型反应烧结碳化硅进行磨削，研究了不同磨粒尺寸、不同结合剂以及不同形状砂轮对磨削面性状的影响，分析了磨削面微段差的形成机理。获得了表面粗糙度Ra=0．57nm的超平滑镜面。

关键词：反应烧结碳化硅 超精密磨削 在线电解修整 表面特性 

单位：武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室; 武汉430070; 理化学研究所素形材工学研究室; 崎玉县; 日本; 351-0198